红外与激光工程  2019, Vol. 48 Issue (2): 221003-0221003(5)    DOI: 10.3788/IRLA201948.0221003
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离子束溅射宽带吸收薄膜设计与制备技术研究
姜玉刚1,2, 刘小利3, 刘华松1,2, 刘丹丹1,2, 王利栓1,2,4, 陈丹1,2, 姜承慧1,2, 季一勤1,2,4
1. 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308;
2. 光电材料智能表面织构技术联合实验室, 天津 300308;
3. 空军驻京津地区军事代表室, 天津 300308;
4. 哈尔滨工业大学光电子技术研究所 可调谐激光技术国家级重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150080
Study on the design and preparing technology of ion beam sputtering wideband absorption thin film
Jiang Yugang1,2, Liu Xiaoli3, Liu Huasong1,2, Liu Dandan1,2, Wang Lishuan1,2,4, Chen Dan1,2, Jiang Chenghui1,2, Ji Yiqin1,2,4
1. Tianjin Key Laboratory of Optical Thin Film, Tianjin Jinhang Institute of Technical Physics, Tianjin 300308, China;
2. Joint Laboratory of Optoelectronic Materials and Intelligent Surface Structures, Tianjin 300308, China;
3. Air Force Agent Office in the Beijing-Tianjin Area, Tianjin 300308, China;
4. National Key Laboratory of Science and Technology on Tunable Laser, Institute of Optical-Electronics, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China
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