红外与激光工程  2018, Vol. 47 Issue (12): 1243003-1243003(8)    DOI: 10.3788/IRLA201847.1243003
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表面杂质和节瘤缺陷诱导薄膜元件热熔融损伤
余霞, 徐娇, 张彬
四川大学 电子信息学院, 四川 成都 610065
Thermal melting damage of thin film components induced by surface impurities and nodule defects
Yu Xia, Xu Jiao, Zhang Bin
College of Electronics and Information Engineering, Sichuan University, Chengdu 610065, China
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