红外与激光工程  2018, Vol. 47 Issue (3): 321004-0321004(7)    DOI: 10.3788/IRLA201847.0321004
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离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应
王利栓1,2, 杨霄2, 刘丹丹2, 姜承慧2, 刘华松1,2, 季一勤1,2, 张锋2, 樊荣伟1, 陈德应1
1. 哈尔滨工业大学 可调谐激光技术国家级重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150001;
2. 中国航天科工飞航技术研究院 天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
Annealing effect of the optical properties of tantalum oxide thin film prepared by ion beam sputtering
Wang Lishuan1,2, Yang Xiao2, Liu Dandan2, Jiang Chenghui2, Liu Huasong1,2, Ji Yiqin1,2, Zhang Feng2, Fan Rongwei1, Chen Deying1
1. National Key Laboratory of Science and Technology on Tunable Laser, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China;
2. Tianjin Key Laboratory of Optical Thin Film, Tianjin Jinhang Institute of Technical Physics, HIWING Technology Academy of CASIC, Tianjin 300308, China
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