红外与激光工程  2019, Vol. 48 Issue (5): 521001-0521001(6)    DOI: 10.3788/IRLA201948.0521001
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不同沉积方式SiO2薄膜的自然时效特性
姜玉刚1,2, 刘小利3, 刘华松1,2, 王利栓1,2, 李士达1,2, 陈丹1,2, 刘丹丹1,2, 姜承慧1,2, 季一勤1,2
1. 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308;
2. 光电材料智能表面织构技术联合实验室, 天津 300308;
3. 空军驻京津地区军事代表室, 天津 300308
Effects of aging treatment on properties of SiO2 thin films with different deposition technology
Jiang Yugang1,2, Liu Xiaoli3, Liu Huasong1,2, Wang Lishuan1,2, Li Shida1,2, Chen Dan1,2, Liu Dandan1,2, Jiang Chenghui1,2, Ji Yiqin1,2
1. Tianjin Key Laboratory of Optical Thin Film, Tianjin Jinhang Institute of Technical Physics, Tianjin 300308, China;
2. Joint Laboratory of Optoelectronic Materials and Intelligent Surface Structures, Tianjin 300308, China;
3. Air Force Agent Office in the Beijing-Tianjin Area, Tianjin 300308, China
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