红外与激光工程  2019, Vol. 48 Issue (5): 517001-0517001(9)    DOI: 10.3788/IRLA201948.0517001
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激光锁定Fabry-Perot干涉仪精密测量电容
王建波, 钱进, 殷聪, 陆祖良, 黄璐, 杨雁
中国计量科学研究院, 北京 100013
Precise capacitance measurement by laser locking Fabry-Perot interferometer
Wang Jianbo, Qian Jin, Yin Cong, Lu Zuliang, Huang Lu, Yang Yan
National Institute of Metrology, Beijing 100013, China
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