红外与激光工程  2019, Vol. 48 Issue (4): 420002-0420002(7)    DOI: 10.3788/IRLA201948.0420002
  光电器件及应用 本期目录 | 过刊浏览 | 高级检索 |
可调谐VCSEL的低应力MEMS悬臂结构设计
裴丽娜, 邹永刚, 石琳琳, 王小龙, 范杰, 王海珠
长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
Design of low stress MEMS cantilever structure with tunable VCSEL
Pei Lina, Zou Yonggang, Shi Linlin, Wang Xiaolong, Fan Jie, Wang Haizhu
National Key Laboratory of High-power Semiconductor Lasers, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China
首 页 | 期刊简介 | 投稿指南 | 编委会 | 期刊订阅 | 广告合作 | 联系我们
版权所有 © 2012 《红外与激光工程》编辑部 地址:天津市空港经济区中环西路58号 邮政编码:300308
津ICP备06007537号