红外与激光工程  2017, Vol. 46 Issue (S1): 125-130    DOI: 10.3788/IRLA201746.S121004
  先进光学材料 本期目录 | 过刊浏览 | 高级检索 |
pH值对镁铝尖晶石化学机械抛光效果的影响
闫勇刚1, 邓小玲1, 王占奎2, 崔建军3
1. 河南理工大学 机械与动力工程学院, 河南 焦作 454003;
2. 河南科技学院 机电工程学院, 河南 新乡 453003;
3. 中国计量科学研究院, 北京 100013
Effect of pH slurries on chemical mechanical polishing for magnesia-alumina spinel
Yan Yonggang1, Deng Xiaoling1, Wang Zhankui2, Cui Jianjun3
1. School of Mechanical and Power Engineering, Henan Polytechnic University, Jiaozuo 454003, China;
2. School of Mechanical and Electrical Engineering, Henan Institute of Science and Technology, Xinxiang 453003, China;
3. National Institute of Metrology, China, Beijing 100013, China
首 页 | 期刊简介 | 投稿指南 | 编委会 | 期刊订阅 | 广告合作 | 联系我们
版权所有 © 2012 《红外与激光工程》编辑部 地址:天津市空港经济区中环西路58号 邮政编码:300308
津ICP备06007537号