红外与激光工程  2015, Vol. 44 Issue (6): 1790-1793    
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飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究
蔡建文1,2,3, 潘雪涛1,4, 张美凤1, 孟飞1
1. 常州工学院 光电工程学院, 江苏 常州 213002;
2. 常州现代光电技术研究院, 江苏 常州 213002;
3. 常州市光电子材料与器件重点实验室, 江苏 常州 213002;
4. 上海大学 机电工程与自动化学院, 上海 200072
Transverse spot superresolution in femtosecond laser microfabrication
Cai Jianwen1,2,3, Pan Xuetao1,4, Zhang Meifeng1, Meng Fei1
1. School of Photoelectric Engineering, Changzhou Institute of Technology, Changzhou 213002, China;
2. Changzhou Institute of Modern Photoelectric Technology, Changzhou 213002, China;
3. Changzhou Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Devices, Changzhou 213002, China;
4. School of Mechatronical Engineering and Automation,Shanghai University, Shanghai 200072, China
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